磁过滤等离子体沉积和注入技术

• 作者: 吴先映 张荟星 李强
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁过滤器 等离子体沉积 阴极真空弧技术
• 年，卷（期）: 2002,（9）
• 页码范围: 695-698
• 页数: 4页
• 分类号: TL657
• 字数: 2579字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2002.09.005

摘要

利用阴极真空弧放电技术能够产生高密度的金属等离子体. 经过90度的磁过滤器,可艺除去金属等离子体中的大颗粒微粒,从而为制备高质量的、致密的各种薄膜提供了一种全新的技术.利用该技术制备薄膜具有非常广泛的应用.本文介绍了阴极真空弧放电技术的应用,以及磁过滤等离子体沉积和注入装置及其应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张荟星	射线束技术与材料改性教育部重点实验室北京师范大学低能核物理研究所	1	9	1.0	1.0
2	李强	射线束技术与材料改性教育部重点实验室北京师范大学低能核物理研究所	1	9	1.0	1.0
3	吴先映	射线束技术与材料改性教育部重点实验室北京师范大学低能核物理研究所	1	9	1.0	1.0