一种简易的薄膜光学特性测量装置

• 作者: 卢维强 李翠玲 江月松
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光表面等离子波 共振 薄膜 光学特性 测量 误差分析
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 仪器与设计
• 页码范围: 49-51
• 页数: 3页
• 分类号: O484.5
• 字数: 1898字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2002.01.013

摘要

基于表面等离子波测量薄膜光学特性的原理,应用激光表面等离子波共振方法,建立了一种简易的测量薄膜光学特性的装置,并对实际的SiO2薄膜进行了测量,实验和理论计算表明,薄膜厚度测量准确度可达纳米量级.还对测量系统作了简单的误差分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江月松	北京理工大学光电工程系	11	147	6.0	11.0
2	李翠玲	北京理工大学光电工程系	5	19	3.0	4.0
3	卢维强	北京理工大学光电工程系	16	105	6.0	10.0