有机衬底SnO2:Sb透明导电膜的制备与特性研究

• 作者: 张德恒 徐现刚 杨田林 杨莺歌 郝晓涛 马洪磊 马瑾
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 柔性衬底,SnO2: Sb透明导电膜,射频磁控溅射法
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 351-354
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 2676字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.02.028

摘要

常温下,采用射频磁控溅射法在有机的柔性衬底上制备出了SnO2:Sb透明导电膜,并对薄膜的结构和光电性质进行了研究.制备的样品为多晶薄膜,并且保持了二氧化锡的金红石结构.性能良好的薄膜电阻率为6.5×10-3Ω*cm,载流子浓度为1.2×1020cm-3,霍耳迁移率是9.7cm2*V-1*s-1.薄膜在可见光区的平均透过率达到了85%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马瑾	山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所	44	495	13.0	20.0
2	徐现刚	山东大学晶体材料国家重点实验室	77	407	10.0	16.0
3	张德恒	山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所	18	450	12.0	18.0
4	郝晓涛	山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所	12	158	7.0	12.0
5	杨莺歌	山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所	8	124	5.0	8.0
6	杨田林	淄博学院数理系	3	29	1.0	3.0