电弧离子镀硬质梯度薄膜技术

• 作者: 林国强
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电弧离子镀 硬质薄膜 梯度薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 224-227
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2691字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2002.03.016

摘要

电弧离子镀设备若具有必要的功能条件,就可用纯金属分离靶弧流控制技术来制取多元硬质梯度薄膜,本工作明确合成梯度薄膜的工艺原则,并以TiAl多层合金梯度薄膜和(Ti,M)N(M为Zr,Nb等元素)硬质梯度薄膜为例,进一步展开说明该技术的工艺过程,对实际效果给予评定.结果表明,用电弧离子镀技术制备多元硬质梯度薄膜,具有操作简便、沉积速度快、成分调节范围宽等优点,为多元复合硬质薄膜的合金强化机制与结构优化研究,提供了关键的技术条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林国强	大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室	59	562	13.0	21.0