与CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器模拟与设计

• 作者: 吴荣汉 吴霞宛 唐君 李树荣 梁琨 毛陆虹 粘华 郭维廉 陈弘达
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光电探测器 器件模拟 CMOS工艺
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 193-197
• 页数: 5页
• 分类号: TN303|TN364+.2
• 字数: 2956字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2002.02.017

摘要

用器件模拟的方法,设计了一种与常规CMOS 工艺兼容的硅高速光电探测器,该探测器可与CMOS接收机电路单片集成,对该探测器进行了器件模拟研究,给出了该探测器的电路模型.通过MOSIS(MOS implementation support project) 0.35μm COMS工艺制做了该探测器,实际测试了该器件的频率响应和波长响应,探测器频率响应在1GHz以上,峰值波长响应在0.69μm.