比对法漏率校准装置

• 作者: 冯焱 张建军 张涤新 沈辉 郭美如
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空计量 漏率校准 真空漏孔
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 特邀论文
• 页码范围: 14-17
• 页数: 4页
• 分类号: TB771
• 字数: 4195字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2002.04.003

摘要

比对法漏率校准装置是计量气体漏率的一种装置,可绝对法和相对法对真空漏孔进行校准.绝对法的校准范围为10-4～10-9 Pa*m3/s;相对合成标淮不确定度为小于10%.相对比对法的校准范围为10-6～ 10-10 Pa*m3/s,相对合成标准不确定度为小于25%.