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摘要:
高亮度高分辨小屏面CDT的黑底制作常见的不良的原因分析及应采取的对策;它有别于一般C DT黑底制作.
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关键词热度
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文献信息
篇名 CDT黑底制作中常见的不良分析及对策
来源期刊 电子器件 学科 工学
关键词 光致抗蚀剂 黑底 荫罩 曝光
年,卷(期) 2002,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 63-66
页数 4页 分类号 TN105
字数 2117字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1005-9490.2002.01.015
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 何宏玉 国家特种显示工程技术研究中心芜湖电真空研究所 1 0 0.0 0.0
2 金兴隆 国家特种显示工程技术研究中心芜湖电真空研究所 1 0 0.0 0.0
传播情况
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引文网络
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参考文献  (1)
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同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1993(1)
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  • 二级参考文献(0)
2002(0)
  • 参考文献(0)
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  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
光致抗蚀剂
黑底
荫罩
曝光
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子器件
双月刊
1005-9490
32-1416/TN
大16开
南京市四牌楼2号
1978
chi
出版文献量(篇)
5460
总下载数(次)
21
总被引数(次)
27643
论文1v1指导