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摘要:
第三代多功能等离子体浸没离子注入(PIII)装置的强流脉冲阴极弧金属等离子体源既具有强的镀膜功能, 同时也具有强的金属离子注入功能;它的脉冲高压电源能输出大的电流;并可获得高的注入剂量均匀性.该装置既能执行离子注入,又能把离子注入与溅射沉积,镀膜结合在一起,形成多种综合性表面改性工艺.本文描述了它的主要设计原则、主要部件的特性以及近期的研究工作成果.
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文献信息
篇名 用于材料表面强化处理的第三代多功能PⅢ装置
来源期刊 核技术 学科 工学
关键词 等离子体浸没离子注入 材料表面改性 强流脉冲阴极弧金属等离子体源 金属等离子体浸没离子注入与沉积
年,卷(期) 2002,(9) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 690-694
页数 5页 分类号 TG172.44
字数 3315字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0253-3219.2002.09.004
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研究主题发展历程
节点文献
等离子体浸没离子注入
材料表面改性
强流脉冲阴极弧金属等离子体源
金属等离子体浸没离子注入与沉积
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
核技术
月刊
0253-3219
31-1342/TL
大16开
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1978
chi
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