压电驱动柔性铰链机构传动实现超精密定位

• 作者: 吴鹰飞 周兆英
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 压电元件 柔性铰链 超精密定位
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 157-160
• 页数: 4页
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2002.02.001

摘要

简单介绍压电元件和柔性铰链的概念与特点.列举压电元件与柔性铰链机构结合实现超精密定位的典型例子,包括超精密测量、超精密加工、光学自动聚焦和大行程超精密定位.为使超精密定位工作台的结构紧凑,提出单驱动多自由度运动机构.应用蠕动式的运动原理可合成机构上的多自由度运动,并实现大行程运动.设计了对称结构的柔性铰链机构实现导向功能.制造和装配了微小型平面工作台.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兆英	清华大学精密仪器与机械学系	205	3706	31.0	54.0
2	吴鹰飞	清华大学精密仪器与机械学系	13	924	9.0	13.0