透明导电IMO薄膜的载流子迁移率研究

• 作者: 华中一 孟扬 章壮健
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 载流子迁移率 掺钼氧化铟 复合效应 透明导电薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 265-269
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 3916字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2002.04.006

摘要

采用van-der-Pauw法、等离子振荡波长法和光谱拟合法等三种方法对IMO(In2O3∶Mo)薄膜和ITO(In2O3∶Sn)薄膜的载流子迁移率进行了测量和比较.结果表明,IMO薄膜的载流子迁移率高达100 cm2V-1s-1以上,远超过已报导的其他掺杂透明导电氧化物(TCO)薄膜的载流子迁移率;IMO薄膜的载流子有效质量约为电子静止质量的0.35倍;IMO薄膜的高载流子迁移率主要是由于载流子受到的散射作用较弱所引起.这无法用通常的掺杂TCO薄膜的载流子散射理论来解释,为此引入复合效应进行分析.在ITO薄膜中,每形成一个电中性复合粒子,就会使两个掺杂的Sn4+失去贡献载流子的电活性;而在IMO薄膜中,即使一个掺杂Mo6+与晶格间隙中的一个O2-结合成复合离子后,该复合离子仍然会贡献出一个载流子,故薄膜中形成的电中性复合粒子数目较少,从而导致价态差为3的IMO薄膜中的电中性复合粒子对载流子的散射远低于价态差为1的ITO薄膜,因此,IMO薄膜有可能获得较高的载流子迁移率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	华中一	复旦大学材料科学系	51	348	11.0	15.0
2	章壮健	复旦大学材料科学系	41	667	16.0	24.0
3	孟扬	复旦大学材料科学系	6	180	5.0	6.0