掺杂对多晶硅薄膜的影响

• 作者: 范钦文
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 掺杂剂 淀积率
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 技术论文
• 页码范围: 15-16,38
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 1591字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2002.05.003

摘要

该文简要地论述了掺杂对多晶硅薄膜淀积的影响,并就掺杂对多晶硅薄膜淀积率的影响作了一些解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范钦文	无锡微电子科研中心二室	1	2	1.0	1.0