248nm KrF准分子激光精密加工Al2O3的实验研究

• 作者: 李波 江超 王又青 胡少六
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: KrF准分子激光器 精密加工 工艺研究
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 光全息与信息处理
• 页码范围: 59-61
• 分类号: TN24
• 字数: 3491字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2002.02.019

摘要

本文采用波长248nm的KrF准分子激光器,对Al2O3陶瓷片的精密加工进行了研究,探讨了各种工艺参数对加工质量的影响规律.同时研究了激光工艺参数对材料表面粗糙度的影响,并且对加工后工件的表面形貌进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李波	华中科技大学激光技术国家重点实验室	79	771	16.0	23.0
2	胡少六	华中科技大学激光技术国家重点实验室	21	359	10.0	18.0
3	江超	华中科技大学激光技术国家重点实验室	32	253	9.0	14.0
4	王又青	华中科技大学激光技术国家重点实验室	57	521	12.0	20.0