RF MEMS技术

• 作者: 梁春广
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械 单片集成 微波混合电路
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 专家论谈
• 页码范围: 6-8
• 页数: 3页
• 分类号: TH703|TH70
• 字数: 3151字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2002.01.003

摘要

通信收发机、天线等无线设备的发展趋势是高性能、小体积、低成本.微电子机械系统技术在这一趋势中显现了技术潜力.本文阐述了RF MEMS技术的现状.