直流二极反应溅射沉积透明ZnO薄膜

• 作者: 刘小平 屈菊兰 谢二庆 邵乐喜 黄春明
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 直流二极反应溅射 X射线衍射
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 13-15,19
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2329字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2002.02.004

摘要

以锌条为溅射靶、普通空气为溅射和反应气体,采用简单的离子溅射仪在玻璃衬底上用直流二极反应溅射法沉积了高度c轴取向的透明ZnO薄膜.通过扫描电镜、X射线能量色散谱、X射线衍射和椭圆偏振测厚仪等手段对沉积样品进行了分析和表征,研究了薄膜结构、折射率n和相对介电常数εr与沉积工艺间的关系,并对结果进行了简要讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢二庆	兰州大学物理科学与技术学院	84	371	11.0	14.0
2	屈菊兰	湛江师范学院物理系	27	272	10.0	16.0
3	刘小平	湛江师范学院物理系	11	60	5.0	7.0
4	邵乐喜	湛江师范学院物理系	22	106	6.0	9.0
5	黄春明	湛江师范学院物理系	1	8	1.0	1.0