表面弹性波马达的工作机理和优化设计研究

• 作者: 吴兰 崔喜泉 章海军
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 表面弹性波马达 微执行器 纳米技术 机理分析
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 光电系统和器件
• 页码范围: 49-52
• 页数: 4页
• 分类号: TM35
• 字数: 3186字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2002.04.014

摘要

探讨了表面弹性波马达的工作机理和优化设计.采用具有能量循环功能的表面弹性波换能器结构,提高了表面弹性波马达效率,将马达的驱动电压阈值从100V降到了10V以下.在频率10MHz,峰峰值为10V的正弦电压激励下,获得振动幅度为20nm的表面弹性波,马达的无负载速度达到0.34m/s,最大推动力输出达到0.06N.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章海军	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	53	454	12.0	18.0
2	吴兰	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	18	146	5.0	12.0
3	崔喜泉	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	2	5	1.0	2.0