自由曲面光学透镜的图像变换面形测量系统与精度建模

• 作者: 冯之敬 郭震宇
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 自由曲面透镜 图像变换 误差分析 测量精度
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 195-197,200
• 页数: 4页
• 分类号: TN24
• 字数: 3722字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2002.03.001

摘要

为了解决自由曲面光学透镜光学表面面形的高精度测量问题,提出了一种可用于自由曲面光学透镜面形测量的图像变换光学曲面面形测量系统.从测量系统的测量原理出发,分析了测量过程中各种误差对测量精度的影响,推导出了自由曲面光学透镜的图像变换面形测量系统的测量误差公式,建立了自由曲面光学透镜的图像变换面形测量系统的测量精度数学模型,得到了该测量系统具有很高测量精度的结论,并且用实验给予验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯之敬	清华大学精密仪器与机械学系	50	543	14.0	21.0
2	郭震宇	清华大学精密仪器与机械学系	3	14	3.0	3.0