碳化硅混合PiN/Schottky二极管的二维模拟

• 作者: 吕红亮 张义门 张玉明 牛新军
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化硅 MPS 二维模拟 MEDICI 输运机理 伏安特性
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 517-522
• 页数: 6页
• 分类号: TN311+.7
• 字数: 3325字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2002.05.015

摘要

利用模拟软件MEDICI对碳化硅混合PiN/Schottky二极管(MPS)的输运机理及伏安特性进行了模拟.输运机理的模拟结果表明MPS的工作原理是正向肖特基起主要作用,而反向时PN结使漏电流大大减小.伏安特性的模拟结果表明MPS的正向压降小,电流密度大,在2V正向偏压下达10-5A/μm,反向漏电流小,击穿电压高(2000V左右),可以通过改变肖特基和PN结的面积比来调整MPS的性能,与硅MPS、碳化硅PN结以及碳化硅肖特基二极管相比具有明显的优势,是理想的功率整流器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张义门	西安电子科技大学微电子研究所	129	835	15.0	21.0
2	张玉明	西安电子科技大学微电子研究所	126	777	15.0	20.0
3	牛新军	西安电子科技大学微电子研究所	4	14	2.0	3.0
4	吕红亮	西安电子科技大学微电子研究所	18	88	5.0	9.0