50型MEVVA源离子注入机

• 作者: 吴先映 张孝吉 张胜基 张荟星 李强
• 来源期刊: 北京师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 材料表面改性 MEVVA源 离子注入机
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 页码范围: 496-499
• 页数: 4页
• 分类号: TL503.3
• 字数: 2341字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0476-0301.2002.04.014

摘要

详细介绍了50型强束流、大束斑MEVVA源注入机的结构和各项性能.50型MEVVA源注入机是北京师范大学低能核物理研究所于九五期间承担的"八六三"计划项目"先进离子束注入技术的工业应用"所取得的成果,是专用于工业生产的MEVVA源离子注入机.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李强	北京师范大学低能核物理研究所射线束技术与材料改性教育部重点实验室	70	1206	19.0	33.0
2	张荟星	北京师范大学低能核物理研究所射线束技术与材料改性教育部重点实验室	17	115	6.0	10.0
3	吴先映	北京师范大学低能核物理研究所射线束技术与材料改性教育部重点实验室	11	73	4.0	8.0
4	张孝吉	北京师范大学低能核物理研究所射线束技术与材料改性教育部重点实验室	5	57	3.0	5.0
5	张胜基	北京师范大学低能核物理研究所射线束技术与材料改性教育部重点实验室	1	15	1.0	1.0