用纳米碳制备光子晶体

• 作者: 张会珍 徐军 栾峰 章蓓
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束辅助沉积 微结构 二维光子晶体 纳米碳
• 年，卷（期）: 2002,（z1）
• 所属期刊栏目: 光电子材料制备和检测
• 页码范围: 53-56
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 字数: 2241字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2002.z1.014

摘要

利用电子束诱导沉积纳米碳柱方法,在一台由KYKY1010B型扫描电子显微镜( SEM)改装的电子束曝光系统中发展了一种无需光刻胶的亚微米图形化技术,微型碳柱的高 度和直径可通过改变聚焦电子束参数加以控制.通过控制电子束辐照位置和对样品台相对漂 移的修正,在镀金的半导体表面8μm×8μm范围内分别得到由纳米碳柱形成的光子晶体点阵 ,包括正方、六方对称和八重准对称等点阵结构,为进一步开展半导体光子晶体的实验研究打下了良好的基础.