一种新的散射电子空间输运坐标转换方法

• 作者: 任黎明 谭震宇 陈宝钦 顾文琪
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束曝光 蒙特卡罗法 坐标转换
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 微光学
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1854字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2002.03.007

摘要

提出一种新的随动坐标系矢量转换方法,给出用于转换散射电子空间输运坐标的矩阵方程.该方程具有递推的形式,计算方便,并且只涉及乘法运算,不会引起计算上的困难,将其用于PMMA(Si中电子散射过程的Monte Carlo模拟,结果表明可以有效节约机时,提高模拟效率,明显优于习惯上使用的静态坐标系方程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭震宇	山东大学电气工程学院	32	502	11.0	22.0
2	陈宝钦	中国科学院微电子中心微光刻实验室	50	361	11.0	16.0
3	顾文琪	中国科学院微电子中心电工研究所	53	189	8.0	11.0
4	任黎明	中国科学院微电子中心微光刻实验室	5	63	4.0	5.0