粉末冶金法多弧离子镀(PVD)用钛靶材的制备

• 作者: 李华 梁振锋 苏东艺 赵峰 陈平
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 钛靶 粉末冶金
• 年，卷（期）: 2002,（z1）
• 所属期刊栏目: Ⅵ.其它
• 页码范围: 594-595
• 页数: 2页
• 分类号: TG146.23
• 字数: 1870字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2002.z1.188

摘要

概要介绍了用粉末冶金工艺制备磁控溅射沉积TiN膜用钛靶的方法,探讨了其技术、经济可行性.结果表明,该方法制备钛靶是可行的,并可推广应用于其它钛复合靶、钛合金、钛化合物靶制备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈平	广州有色金属研究院国家钛及稀有金属粉末冶金工程中心	14	45	3.0	6.0
2	李华	广州有色金属研究院国家钛及稀有金属粉末冶金工程中心	4	2	1.0	1.0
3	梁振锋	广州有色金属研究院国家钛及稀有金属粉末冶金工程中心	9	79	5.0	8.0
4	赵峰	广州有色金属研究院国家钛及稀有金属粉末冶金工程中心	2	2	1.0	1.0
5	苏东艺		1	0	0.0	0.0