双层辉光离子多元共渗中的源极变化

• 作者: 徐江 徐重 董建新 谢锡善
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 双层辉光 多元共渗 溅射
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 327-330
• 页数: 4页
• 分类号: TG156
• 字数: 2652字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0609.2002.02.026

摘要

观察了双层辉光渗金属过程中源极溅射后的成分以及形貌, 利用X射线衍射对源极溅射表面进行了相分析, 并且用Thermo-cale软件进行了相计算. 结果表明: 在辉光溅射条件下源极的成分和形貌发生了较大的变化, 溅射后源极表面主要析出相为μ相和Laves相, 用Thermo-cale软件热力学相计算结果与X射线衍射结果基本吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董建新	北京科技大学材料科学与工程学院	265	2182	21.0	31.0
2	谢锡善	北京科技大学材料科学与工程学院	140	1956	22.0	36.0
3	徐江	北京科技大学材料科学与工程学院	8	118	6.0	8.0