国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用

• 作者: 亢春梅 刘光辉 曹金名
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS技术 现状 应用
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 3594字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2002.06.002

摘要

概括介绍了国外MEMS技术的主要工艺、特点、市场及预测、研究发展方向,重点介绍了国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘光辉		2	244	2.0	2.0
2	亢春梅		4	264	4.0	4.0
3	曹金名		1	102	1.0	1.0