集成电路废水处理系统设计

• 作者: 张琳 郭珍珍
• 来源期刊: 电子电路与贴装
• 学科: 地球科学
• 关键词: 集成电路 废水处理系统 氢氟酸废水 酸碱废水
• 年，卷（期）: 2002,（7）
• 页码范围: 99-109
• 页数: 11页
• 分类号: X703

摘要

本文通过调研深入了解了集成电路生产线工艺流程、废水来源及废水组成，介绍集成电路废话水处理工艺流程及原理、主要构筑物和设备以及运转控制条件，列举出主要技术经济指标以及工程设计特点，并且总结了废水处理站实际运行后的经验培训及有关建议，希望对给水排水专业设计人员有所借鉴。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张琳		22	35	4.0	5.0
2	郭珍珍		3	0	0.0	0.0