微电子机械虚拟设计系统研究

• 作者: 卢桂章 李明 赵新
• 来源期刊: 信息与控制
• 关键词: 微电子机械 虚拟设计 虚拟工艺 虚拟组装 虚拟运行
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 论文与报告
• 页码范围: 97-101
• 页数: 5页
• 分类号: TP024
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0411.2002.02.001

摘要

本文提出了基于虚拟现实技术的MEMS虚拟设计系统,给出了MEMS计算机辅助设计系统的解决方案.通过这套MEMS虚拟设计系统,设计人员可以观察并评测其设计的外观和功能,使得在实际MEMS器件制作工艺之前,就能获得大量的器件运行数据和修正信息,提高MEMS器件设计制作的效率,缩短开发周期.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢桂章	南开大学机器人与信息自动化研究所	86	1727	19.0	39.0
2	赵新	南开大学机器人与信息自动化研究所	57	583	11.0	21.0
3	李明	南开大学机器人与信息自动化研究所	24	174	6.0	12.0