升高模式扫描电容显微镜

• 作者: 侯士敏 束开俊
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电容显微镜 升高模式 电容梯度
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 23-25
• 页数: 3页
• 分类号: TN16
• 字数: 2085字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2002.01.006

摘要

分析了升高模式扫描电容显微镜(LM-SCM)的工作原理,得出了像的对比度正比于样品表面电容梯度分布,且在一定针尖-样品模型下,也可得到样品表面的电容分布.利用LM-SCM研究了金电极的表面电容梯度分布,其横向分辨率优于50 nm,显示出其在纳米电子学中的巨大应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯士敏	北京大学电子学系	42	265	8.0	15.0
2	束开俊	安徽中医学院物理系	6	1	1.0	1.0