基于硅表面加工工艺的射频体声波滤波器研究

• 作者: 丛鹏 任天令 刘燕翔 刘理天
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 滤波器 谐振器 微电子机械系统 体声波
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 声表面波技术
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TN713
• 字数: 2426字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2002.01.001

摘要

计算并讨论了由电极-压电薄膜-电极的三明治结构组成的体声波谐振器在有衬底情况下的阻抗,特别说明了厚的支撑膜对滤波器性能的严重影响.同时比较了在制作体声波滤波器时硅的体加工工艺和表面加工工艺的优劣,给出了利用硅的表面加工工艺制作的射频体声波滤波器的设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学徽电子所	230	1519	19.0	23.0
2	任天令	清华大学徽电子所	87	600	13.0	19.0
3	丛鹏	清华大学徽电子所	39	180	7.0	12.0
4	刘燕翔	清华大学徽电子所	5	88	5.0	5.0