微能源

• 作者: 刘路 解晶莹
• 来源期刊: 电源技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 微能源 制造工艺 工作特性
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 470-474
• 页数: 5页
• 分类号: TM912
• 字数: 4755字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-087X.2002.06.020

摘要

微电子机械系统(MEMS--Micro Electro Mechanical Systems),是指运用微电子加工技术和微机械加工技术,在较小的物理尺寸上,集成了微机械元件,微传感器,微机械执行器,微电子元件、电路和供能部件的器件或是系统.目前供能问题已经成为MEMS降低成本、进入实用化、自动化的最大障碍.现有的一个解决方案是微能源.介绍了微能源技术的发展和技术现状,分别讨论了微型内燃机系统、微燃料电池、微太阳电池、微型锂电池、微型核电池等几种微能源的制造工艺,工作特性以及应用现状.简单分析了微能源的发展方向和应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	解晶莹	中国科学院上海冶金研究所	43	1055	19.0	32.0
2	刘路	中国科学院上海冶金研究所	16	419	9.0	16.0