溅射效应对离子注入聚合物表面形貌的影响

• 作者: 刘安东 吴瑜光 张荟星 张通和
• 来源期刊: 北京师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: C,Si和Cu离子注入 聚酯膜 表面形貌 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 页码范围: 755-758
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 2378字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0476-0301.2002.06.009

摘要

采用MEVVA离子注入机引出的离子进行了聚酯薄膜改性研究,考虑到注入离子对表面溅射的强弱与离子的质量密切相关,所以选用质量大小不等的3种离子Cu,Si和C为注入离子,注入后的聚酯膜表面结构发生了很大的变化,用原子力显微镜观察了注入样品表面形貌的变化,表面粗糙度与注入离子质量密切相关.实验结果表明,注入前聚酯薄膜表面粗糙,表面突起密集地分布在表面,其高度可达20～25 nm,C和Si注入后表面突起高度下降到5 nm,随注入离子质量的增加,在注入层粗糙度增加,Cu注入后在表面形成了弥散分布Cu原子的析出纳米颗粒.Cu颗粒起伏高度可达到50 nm.这些变化对聚酯薄膜表面物理化学特性有着重要的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘安东		10	52	4.0	7.0
2	张通和		7	30	4.0	5.0
3	张荟星		3	11	1.0	3.0
4	吴瑜光		4	13	2.0	3.0