液晶显示器生产中的激光退火和缺陷修复

• 作者: 孙荣霞 宋登元 宗晓萍 王永青
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 激光 液晶显示器 缺陷 退火
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 1-2
• 页数: 2页
• 分类号: TN87
• 字数: 2956字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2002.04.001

摘要

由于在大面积玻璃基底上制备由多层材料构成的高质量薄膜晶体管象元驱动阵列工艺的复杂性,使有源矩阵液晶显示器(AML∞)的成品率低、价格高.利用激光对AMLCD进行非晶硅薄膜的退火和电路缺陷的修复,可有效的改善AMLCD的性能,提高成品率和降低成本.本文在介绍了激光对非晶硅薄膜退火和电路缺陷修复常用激光器的特性后,讨论了激光对不同类型缺陷修复的原理和过程.最后,分析比较了不同类型激光退火方法的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙荣霞	河北大学电子信息工程学院	42	210	7.0	13.0
2	宗晓萍	河北大学电子信息工程学院	56	352	9.0	16.0
3	王永青	河北大学电子信息工程学院	28	248	6.0	15.0
4	宋登元	河北大学电子信息工程学院	14	194	6.0	13.0