透明导电膜ZnO:Al(ZAO)的组织结构与特性

• 作者: 孙超 曹鸿涛 裴志亮 闻立时 陈猛 黄荣芳
• 来源期刊: 材料研究学报
• 学科: 工学
• 关键词: 透明导电氧化物 简并半导体 ZAO薄膜 散射机制 电学光学性质
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 专题评述
• 页码范围: 113-120
• 页数: 8页
• 分类号: TB383
• 字数: 5585字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-3093.2002.02.001

摘要

ZnO:Al(ZAO)是一种简并半导体氧化物薄膜材料,具有高的载流子浓度和大的光学禁带宽度.因而具有优异的电学和光学性能,极具应用价值.对于其能级高度简并的ZAO半导体薄膜材料.在较低的温度下.离化杂质散射占主导地位:在较高的温度下,晶格振动散射将成为主要的散射机制;晶界散射仅当晶粒尺寸较小(与电子的平均自由程相当)时才起作用.本文介绍了ZAO薄膜的制备方法、晶体结构特性、电学和光学性能以及载流子的散射机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙超	中国科学院金属研究所	126	1708	23.0	34.0
2	黄荣芳	中国科学院金属研究所	37	704	16.0	25.0
3	闻立时	中国科学院金属研究所	117	1859	24.0	36.0
4	裴志亮	中国科学院金属研究所	19	425	12.0	19.0
5	陈猛	中国科学院金属研究所	19	341	8.0	18.0
6	曹鸿涛	中国科学院金属研究所	6	107	4.0	6.0