LIGA工艺在工程中的两类应用

• 作者: 张菊芳 彭良强 李枚 高杨 黄军容
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: LIGA 密码锁 加速度开关 MEMS
• 年，卷（期）: 2002,（10）
• 页码范围: 883-888
• 页数: 6页
• 分类号: TN405
• 字数: 3573字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2002.10.024

摘要

本文从LIGA工艺的工程应用角度,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题,初步分析了这两类组件制造对LIGA工艺的需求与要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	上海交通大学微纳米科学技术研究院	6	75	5.0	6.0
5	李枚	中国工程物理研究院电子工程研究所	12	81	5.0	9.0
6	彭良强	中国科学院高能物理研究所	24	141	7.0	11.0
7	张菊芳	中国科学院高能物理研究所	21	136	6.0	11.0
8	黄军容	中国科学院高能物理研究所	6	43	3.0	6.0