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文献信息
篇名 目标软件迎接MEMS设计的挑战
来源期刊 光机电信息 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2002,(11) 所属期刊栏目 微纳技术
研究方向 页码范围 23-24
页数 2页 分类号 TP3
字数 1796字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1007-1180.2002.11.007
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相关学者/机构
期刊影响力
光机电信息
月刊
1007-1180
22-1250/TH
大16开
吉林省长春市
12-171
1958
chi
出版文献量(篇)
2287
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