电弧离子镀脉冲负偏压电源及其特性的研究

• 作者: 丁振峰 戚栋 林国强 王宁会
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 电弧离子镀 脉冲负偏压电源 等离子体负载 匹配
• 年，卷（期）: 2002,（12）
• 所属期刊栏目: 设备
• 页码范围: 56-59
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444|TG156.7
• 字数: 3395字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6051.2002.12.023

摘要

一种脉冲负偏压电源是由多个脉冲分量形成的电路串联构成,脉冲的频率和占空比直接在高压侧调节.介绍了电源的结构和关键技术,并结合薄膜沉积试验中的电压、电流波形和计算机仿真分析,探讨了电源和电弧离子镀的等离子体负载间的匹配,提出了电弧离子镀脉冲负偏压电源的设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王宁会	大连理工大学电气工程系	76	752	15.0	24.0
2	丁振峰	大连理工大学三束材料改性国家重点试验室	13	32	4.0	4.0
3	林国强	大连理工大学三束材料改性国家重点试验室	59	562	13.0	21.0
4	戚栋	大连理工大学电气工程系	27	232	7.0	15.0