一种大数值孔径小非球面检测用补偿器设计

• 作者: 余景池 孙侠菲 郭培基
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 补偿法 补偿器 大数值孔径小非球面
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 现代光学仪器与精密机械
• 页码范围: 518-522
• 页数: 5页
• 分类号: TH74
• 字数: 2405字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2002.05.018

摘要

利用补偿器的补偿法是检测高精度非球面的一种非常重要的方法,它可以利用已广泛实用的Zygo等高精度的数字干涉仪,用补偿法的关键是补偿器的设计.本文介绍了补偿法检测非球面的原理,针对要检测一种大数值孔径小非球面模芯,设计了一种由4片薄球面透镜组成的补偿器,该补偿器由前后两部分组成,前面两片组成一个数值孔径很小的系统,主要用于产生适量的球差,后组两片组成一个数值孔径较大的系统,并与前面的一起满足被测非球面检测的需要.文中对制造、检测及装调等主要误差源引起误差进行了全面分析.用这种补偿器检测相应的非球面,检测精度可达0.05λ,可满足光盘物镜非球面模芯的检测需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭培基	苏州大学现代光学技术研究所	25	387	12.0	19.0
2	余景池	苏州大学现代光学技术研究所	41	634	17.0	23.0
3	孙侠菲	苏州大学现代光学技术研究所	6	77	6.0	6.0