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摘要:
综述了化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)工艺的特点与开发,以及CVD和PVD镀层及金刚石镀层刀具的性能和应用.中温CVD,PVD和金刚石镀层刀具等技术的进展标志着先进镀层应用时代的来临.
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文献信息
篇名 刀具镀层的技术进展
来源期刊 理化检验-物理分册 学科 工学
关键词 化学气相沉积 物理气相沉积 金刚石镀层刀具 陶瓷镀层刀具
年,卷(期) 2002,(7) 所属期刊栏目 综述
研究方向 页码范围 303-305
页数 3页 分类号 TG71|TG154.5
字数 3886字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1001-4012.2002.07.008
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作者信息
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1 夏伯雄 9 5 1.0 1.0
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2012(1)
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研究主题发展历程
节点文献
化学气相沉积
物理气相沉积
金刚石镀层刀具
陶瓷镀层刀具
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
理化检验-物理分册
月刊
1001-4012
31-1338/TB
大16开
上海市邯郸路99号
4-183
1963
chi
出版文献量(篇)
4196
总下载数(次)
10
总被引数(次)
16172
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