具有高激光损伤阈值的光栅分光薄膜

• 作者: 周斌 李佛生 李小丽 沈军 王珏
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 激光损伤阈值 光栅 ZrO2薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 页码范围: 331-334
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.2002.04.012

摘要

为惯性约束聚变(ICF)实验中利用光栅分光特性间接探测激光功率研究,制备具有高激光损伤阈值的光栅分光ZrO2薄膜.采用水热法制备纳米ZrO2溶胶,在80～100 ℃下,以20 m/min速度涂敷制备出厚1～2 μm、折射率为1.57～1.70、表面粗糙度2.3 nm、激光损伤阈值为25～30 J/cm2(1 ns,1.06 μm)的ZrO2薄膜.采用Ar+激光器双光束干涉曝光技术制备光栅掩膜板,光栅周期为1～2 μm,深度70～100 nm.通过电镀工艺将光栅结构转移至镍板上,经连续模压,最终制备出光栅分光ZrO2薄膜.分析了光栅周期、模压深度及薄膜折射率等因素对光栅一级衍射效率的影响.制备出的光栅分光ZrO2薄膜有望用于高功率激光测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周斌	同济大学波耳固体物理研究所	140	1582	22.0	31.0
2	沈军	同济大学波耳固体物理研究所	199	2285	26.0	36.0
3	王珏	同济大学波耳固体物理研究所	79	1255	22.0	32.0
4	李佛生	同济大学波耳固体物理研究所	11	54	4.0	7.0
5	李小丽	同济大学波耳固体物理研究所	3	16	2.0	3.0