金属薄膜电迁移1/f噪声与1/f2噪声统一模型

• 作者: 庄奕琪 杜磊 薛丽君
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金属薄膜, 1/fγ噪声, 电迁移, 自由体积
• 年，卷（期）: 2002,（12）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 2836-2841
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 4726字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.12.029

摘要

应用晶粒边界自由体积的概念建立了能够统一描述金属薄膜1/f噪声与1/f2噪声的模型.该模型表明,结构完整的多晶金属薄膜产生的电噪声为1/f噪声,当金属薄膜受到电迁移损伤而形成空洞时就会引入1/f2噪声的成分.在电迁移应力实验中,观察到金属薄膜1/fγ噪声在空洞成核前γ约为1.0,一旦发生空洞成核,即突增至1.6以上,这一规律与本模型的预测相符合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庄奕琪		183	1168	15.0	22.0
2	杜磊		99	486	13.0	18.0
3	薛丽君		7	27	4.0	5.0