类金刚石薄膜硬度的研究

• 作者: 严一心 徐均琪 杭凌侠 王季梅 蔡长龙
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 脉冲电弧 硬度 工艺参数
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 专论
• 页码范围: 9-11
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 2169字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2002.03.003

摘要

采用脉冲真空电弧离子源镀制了类金刚石薄膜,研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素,包括:基片温度、主回路电压、清洗时间、膜层厚度和脉冲频率等,分析了各种镀制参数对薄膜硬度的影响机理,找出了最佳镀制工艺参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐均琪	西安工业学院光电科学与工程系	87	611	13.0	20.0
2	杭凌侠	西安工业学院光电科学与工程系	93	777	15.0	22.0
3	严一心	西安工业学院光电科学与工程系	43	232	9.0	12.0
4	王季梅	西安交通大学电气工程学院	103	845	16.0	25.0
5	蔡长龙	西安交通大学电气工程学院	6	40	3.0	6.0