Ge-Sb-Te-O相变薄膜的结晶动力学研究

• 作者: 侯立松 顾四朋
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Ge-Sb-Te相变薄膜 氧掺杂 XRD DSC 结晶动力学
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1258-1262
• 页数: 5页
• 分类号: O795
• 字数: 2402字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2002.06.029

摘要

用磁控溅射法制备了Ge-Sb-Te和Ge-Sb-Te-O相变材料薄膜,由热处理前后薄膜的X射线衍射(XRD)发现,热处理使薄膜发生了从非晶态到晶态的相变.通过非晶态薄膜粉末的示差扫描量热(DSC)实验测出不同加热速率条件下的结晶峰温度,并计算了材料的摩尔结晶活化能、原子激活能和频率因子.根据结晶动力学结晶活化能E判据得出结论为:与Ge-Sb-Te相比,掺杂氧后的Ge-Sb-Te更容易析晶,具有更快的结晶速率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯立松	中国科学院上海光学精密机械研究所	43	407	13.0	18.0
2	顾四朋	中国科学院上海光学精密机械研究所	9	57	4.0	7.0