外部电光测量的空间分辨率

• 作者: 张大明 张红波 杨罕 王国全 王瑞 衣茂斌 陈开鑫 马振昌
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 外部电光测量 电场空间分辨率 半绝缘GaP
• 年，卷（期）: 2002,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 752-756
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 字数: 2048字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2002.07.016

摘要

报道了用650nm的半导体激光二极管建立的一个正面入射式外部电光测量装置.用〈100〉面镀红光全反射膜的半绝缘GaP作为外部探头,提出以有效调制电压为测量对象,对外部电光测量装置进行了电场空间分辨率的测量.实验结果表明,电场空间分辨率小于1μm,电压灵敏度为12.6mV/ Hz.