氟化非晶碳膜的光学带隙和伏安特性

• 作者: 叶超 宁兆元 康健 杨慎东 甘肇强 程珊华 黄峰
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: a-C:F薄膜 MWECR-CVD 光学带隙 J-V特性
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 283-285
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2200字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2002.03.020

摘要

用苯(C6H6)和三氟甲烷(CHF3)混合气体作源气体,采用永磁微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWECRCVD)技术,制备了氟化非晶碳膜(a-C:F).光学带隙的结果表明它与膜中的C、F元素含量和键结构都有关系;伏安特性的测量表明a-C:F薄膜的电导在低电场下呈欧姆特性,高电场下则是肖特基发射机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宁兆元	苏州大学物理系	70	528	12.0	18.0
2	甘肇强	苏州大学物理系	15	97	6.0	9.0
3	叶超	苏州大学物理系	33	244	10.0	14.0
4	程珊华	苏州大学物理系	30	347	11.0	17.0
5	康健	苏州大学物理系	6	46	3.0	6.0
6	黄峰	苏州大学物理系	5	41	4.0	5.0
7	杨慎东	苏州大学物理系	4	36	3.0	4.0