具有光纤自定位保持结构的2×2扭转微镜光开关阵列的制作和机电特性

• 作者: 吴文刚 张培玉 栗大超 武国英 郝一龙
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 光开关 扭转微镜 光纤自定位保持结构 混合微加工
• 年，卷（期）: 2002,（10）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1024-1030
• 页数: 7页
• 分类号: TN256
• 字数: 1320字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2002.10.004

摘要

应用基于表面硅、体硅微电子工艺的混合微加工技术,制作了新型2×2扭转微镜光开关阵列,并研究了其在外加静电场和交变电场中的机电特性.当该光开关中悬挂多晶硅微镜的弹性扭转梁的厚度约为1μm时,驱动微镜以实现其"开"状态的拐点静电电压为270～290V,而维持微镜"开"状态的最低保持电压在55V左右.理论分析表明,在关于该光开关结构的一系列设计参数中,拐点静电电压对于弹性扭转梁的厚度最敏感.该光开关的开关寿命超过108次,而其开关时间预计小于2ms.对单片集成制造在该光开关阵列芯片上的两种新型光纤自定位保持结构的力学分析表明,它们具有光纤自固定、自对准的性质.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	栗大超	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	89	722	14.0	20.0
2	吴文刚	北京大学微电子学研究所	10	81	3.0	9.0
3	郝一龙	北京大学微电子学研究所	46	716	15.0	25.0
4	张培玉	北京大学微电子学研究所	4	51	2.0	4.0
5	武国英	北京大学微电子学研究所	13	274	6.0	13.0