关于微硅机械加速度计表头设计的几个问题

• 作者: 刘云峰 曹志锦 董景新
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 交通运输
• 关键词: 叉齿式 微硅加速度计 分辨率 量程 稳定性
• 年，卷（期）: 2002,（12）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: U666.122|V241.45
• 字数: 3879字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2002.12.003

摘要

由于负刚度等特殊问题,使叉齿式微硅机械加速度计的闭环控制区别于常规闭环系统,并且负刚度较大地影响微加速度计工作稳定性.为此对加速度计的表头结构设计方法及理论公式进行了研究,推导出了在给定性能参数下,设计加速度计表头最小分辨率、最大量程的方法和理论计算公式.根据上述方法设计能更好地保证加速度计的工作稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董景新	清华大学精密仪器与机械学系	89	741	14.0	20.0
2	曹志锦	清华大学精密仪器与机械学系	5	66	3.0	5.0
3	刘云峰	清华大学精密仪器与机械学系	51	405	12.0	16.0