LC-14型强流氧注入机注入均匀性的背散射分析报告

• 作者: 卢志恒 唐景庭 李雪春 罗晏
• 来源期刊: 北京师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入 SOI材料 背散射分析
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 204-207
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.3|TN304.1+2
• 字数: 1261字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0476-0301.2002.02.011

摘要

报道了应用双指数函数对大注量氧注入硅的背散射谱进行拟合,成功地分离出注入的氧峰.数据处理结果表明,氧注量的均匀性以标准偏差表示为7.8%,基本上达到了设计要求.计算了注氧层和表面硅层的厚度,并且还对注量进行了校正.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢志恒	北京师范大学物理学系	12	24	3.0	4.0
3	李雪春	北京师范大学物理学系	3	13	1.0	3.0
4	罗晏	北京师范大学低能核物理研究所	2	1	1.0	1.0
8	唐景庭		1	1	1.0	1.0