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电子元件级进模设计
级进模
冲压
模具
基于 ANSYS 仿真的半导体温控装置的研究
半导体制冷
ANSYS仿真
传热
管路温控
半导体制造系统优化调度模型的分解和简化方法
半导体制造
仿真调度
优化调度
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用于冲洗半导体装置和液晶装置的电子元件的功能水的制造方法和设计
来源期刊 水处理信息报导 学科 工学
关键词 电子元件 日本 专利 冲洗 半导体装置 液晶装置 功能水 制造方法 设备
年,卷(期) 2002,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 35
页数 1页 分类号 TQ085
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研究主题发展历程
节点文献
电子元件
日本
专利
冲洗
半导体装置
液晶装置
功能水
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设备
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
水处理信息报导
双月刊
天津市丁字沽三号路85号化工部天津化工研
出版文献量(篇)
4709
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