矩形口径离轴非球面在数控加工过程中的检测

• 作者: 张学军 张峰 张忠玉 潘守甫 王权陡
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 离轴非球面 数控加工 补偿法
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 光学工艺
• 页码范围: 289-290
• 页数: 2页
• 分类号: TH706
• 字数: 1707字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2002.04.001

摘要

介绍了空间相机中的离轴非球面第三反射镜(矩形口径)在数控加工过程中在研磨和抛光阶段的检测情况.利用自行研制的非球面测量机对研磨阶段离轴非球面的面形精度进行了测量,其最后的研磨精度达到了1 μm(RMS).抛光阶段离轴非球面的检测采用的是补偿法,其中零位补偿器是补偿检验的关键元件.该离轴非球面的最终面形达到了在200 mm通光口径内约λ/30的精度(λ=0.632 8 μm).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张峰	吉林大学原子分子物理研究所	28	468	8.0	21.0
2	潘守甫	吉林大学原子分子物理研究所	31	130	4.0	10.0
3	张学军	长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	3	91	3.0	3.0
4	张忠玉	长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	3	91	3.0	3.0
5	王权陡	长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	2	53	2.0	2.0