高质量ZnO薄膜的退火性质研究

• 作者: 叶建东 张荣 施毅 朱顺明 沈波 秦峰 胡立群 郑有炓 陈童
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌薄膜 退火 光致发光 金属有机气相外延沉积
• 年，卷（期）: 2002,（12）
• 所属期刊栏目: 新材料技术
• 页码范围: 45-48
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 3051字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.2002.12.010

摘要

在LP-MOCVD中,我们利用Zn(C2H5)2作Zn源,CO2作氧源,在(0002)蓝宝石衬底上成功制备出c轴取向高度一致的ZnO薄膜,并对其进行500℃～800℃四个不同温度的退火.利用XRD、吸收谱、光致发光谱和AFM等手段研究了退火对ZnO晶体质量和光学性质的影响.退火后,(0002)ZnO的XRD衍射峰强度显著增强,c轴晶格常数变小,同时(0002)ZnO X射红衍射峰半高宽不断减小表明晶粒逐渐增大,这与AFM观察结果较一致.由透射谱拟合得到的光学带隙退火后变小,PL谱的带边发射则加强,并出现红移,蓝带发光被有效抑制,表明ZnO薄膜的质量得到提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	施毅	南京大学物理系	103	490	13.0	17.0
2	郑有炓	南京大学物理系	78	353	11.0	15.0
3	朱顺明	南京大学物理系	20	72	5.0	7.0
4	叶建东	南京大学物理系	11	57	5.0	7.0
5	胡立群	南京大学物理系	13	49	4.0	6.0
6	张荣	南京大学物理系	134	576	13.0	17.0
7	沈波	南京大学物理系	34	136	7.0	10.0
8	陈童	南京大学物理系	3	20	2.0	3.0
9	秦峰	南京大学物理系	4	43	3.0	4.0