微电子机械系统技术及其应用

• 作者: 张斌 张海涛
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 微机械加工技术 MEMS应用
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 科技动态
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: TN454
• 字数: 3320字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2002.04.010

摘要

微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料.该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类.所采用的基础技术主要有:腐蚀技术、硅键合技术、多层无应力薄膜沉积技术、牺牲层技术、LIGA技术以及以上技术的复合,该项技术应用广泛.本文重点介绍在微传感器、微电机、机械滤波器和谐振滤波器等方面的应用,并探讨了发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张海涛	清华大学核能技术设计研究院	44	497	12.0	21.0
2	张斌	清华大学核能技术设计研究院	56	870	15.0	28.0