偏心周向曝光法透照厚度比和黑度的控制

• 作者: 张健 郑祥龙
• 来源期刊: 压力容器
• 学科: 工学
• 关键词: 偏心 周向曝光 K值 黑度 控制
• 年，卷（期）: 2002,（9）
• 所属期刊栏目: 检验与修复
• 页码范围: 47-51
• 页数: 5页
• 分类号: TQ050.2
• 字数: 3669字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4837.2002.09.013

摘要

对偏心周向曝光法透照进行了分析、计算,确定最大透照厚度的计算式,推导出在透照厚度比最大值下的偏心距计算式和偏心距极限值.并建立了偏心周向一次曝光时最大偏心距与环缝外半径的关系式,建立了当实际偏心距超过一次曝光的最大偏心距而采用偏心周向分次曝光法透照时分次点计算式和任意点黑度计算式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑祥龙		2	2	1.0	1.0
2	张健		42	136	5.0	11.0